近日，在帝京半导体科技（南通）有限公司检测室里，副总经理正带领技术员测量产品。这台新型三坐标测量设备，可以实现公司主要半导体设备真空腔体产品的形位公差和尺寸的精密测量。

坚持技术创新 打破国际垄断

帝京半导体科技（南通）有限公司是一家专注于半导体设备真空腔体关键零部件技术开发及制造的科技创新型高新技术企业，去年落户如东经济开发区（高新区）泛半导体产业园，总投资约1.6亿元，一期投资5000万元。公司先后投入科研项目资金1500万元，今年上半年完成销售产值3600万元。

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“我们主打产品为半导体12英寸晶圆蚀刻机反应腔及关键部件，通过采用自主研发的超高洁净清洗技术，产品达到国际领先的超洁净度和耐腐蚀标准，打破国际巨头在关键零部件方面对中国的垄断。”公司数字化运营副总经理肖剑表示，“这款产品之前由国外大厂垄断，我们客户希望我们去开发这款产品。通过一年的研发，我们已经完成整个腔体模组的研发跟制造，现在已经顺利向客户供货。”

充分发挥自主研发优势 牢牢把握创新发展机遇

“国家现代化建设为年轻人提供了广阔舞台，大家正当其时，要把握历史机遇，勇攀科技高峰，我们科研人员也要在专业领域厚植深耕、开拓进取，在助力科技创新突破中展现新作为。”帝京半导体科研人员周晓娟这样说道。

同样落户如东经济开发区的南通迈铂瑞新材料科技有限公司是一家从事微滤膜成膜技术研发、制膜产业化，以及半导体滤芯研发生产和应用的科创型企业，企业研发的PES微孔滤膜，打破了国外的长期垄断。“作为国内为数不多替代国外进口产品的自主研发和生产的国内过滤企业，迈铂瑞坚持创新发展，围绕生物医药和半导体滤芯的应用，不断提高科技成果转化和产业化水平。”如东生产基地负责人李蓬程告诉记者，目前，公司建成了国内一流的滤膜、滤芯、滤器研发实验室，主要用于滤芯、滤膜检测分析体系，为生产研发服务。“迈铂瑞注重技术创新，激发员工创新潜能，独立自主研发的同时，积极与高校开展产学研研究项目。目前公司有一个25人的资深研发团队。”

一家家科创企业的落地生根，一个个科研人员的踔厉奋发，正是如东以科技创新激发高质量发展的缩影。在如东经济开发区（高新区），紧抓科技招商，吸引科技人才的势头为高质量发展不断注入新动能。近年来，园区不断优化产业布局，完善服务内容，提升区域吸引力。全区累计引进各类科创型企业近80家，自2022年起到今年二季度，市级认定科创项目39家。

加强创新对接 提升产业链水平

“我们要走扎实的创新路子，加强科技创新和产业创新对接，推动创新企业集群做大做强，强化科创项目招引，重点招引科技含量高、成长潜力大的科创型项目，努力培育一批瞪羚企业、独角兽企业。同时将智改数转工作向纵深推进，支持企业在科技创新中发挥主体作用，让企业创新转型的步伐越来越快，路越来越宽。”如东经济开发区（高新区）科创办主任桑建如说。

今年以来，如东突出科技招商战略定位，强化创新主体源头管理，推动高新技术企业集群发展，加快推进“一核一廊”创新共同体和“众创空间+孵化器+加速器+产业园区”完整科创孵化链条建设，提升全县高新技术产业承载力，加快导入大院大所科创资源，推进院士工作站、产业链（集群）协同创新联合体和科技服务业集聚区建设，推动全县科技自主创新能力不断提升。“我们将进一步促进企业创新能力、产业创新能力‘双提升’，全力以赴推进科技创新成果转化为现实生产力，释放强劲动能。”如东县科技局局长邵亚红说。

作者：袁嘉翊 王洪